トリクロロシラン

トリクロロシラン (TCS、SiHCl₃、CAS 10025-78-2) は、むせ返るような鋭い塩化水素臭を持つ、無色の揮発性の高い液体です。 31.8 度で沸騰し、水分と激しく反応するこの物質は、太陽光発電太陽電池や半導体ウェーハ用の高純度ポリシリコンを製造するシーメンス プロセスの重要な原料です。- TCS は、シリコン エピタキシャル ウェーハの成長、有機シリコン合成 (シリコン オイル、ゴム、樹脂、カップリング剤)、CVD シリコン薄膜堆積、および有機合成における選択的還元剤としても広く使用されています。工業用グレード (99.0% 以上) と電子グレード (純度 9N まで) が用意されています。水反応性および引火性が高いものとして分類されており (UN 1295、クラス 4.3+2.3、PG I)、爆発範囲が 1.2% ～ 90.5% と非常に広い。乾燥窒素から保護された厳密な無水条件下でのみ取り扱ってください。